光谱仪在分析过程中产生误差是难免的。误差来源很多，就光电光谱分析来讲，除了标准样品和分析样品的成分不均匀，组织状况不一致外，光谱的性能不稳定和样品表面处理不当，以及氩气纯度不够都会产生误差。所以对每一位分析者来讲，了解产生误差的原因以及进一步研究消除误差的方法是非常重要的。激发光源是光电光谱仪中一个极为重要的组成部分，它的作用是给分析试样提供蒸发、原子化或激发的能量。在光谱分析时试样的蒸发、原子化或激发之间没有明显界限，这些过程式几乎是同时进行。
而这一系列过程均直接影响到分析结果。样品中组分析元素的蒸发、离解、激发、电离、谱线的发射以及光谱线的强度除了与试样成分的熔点、沸点、原子量、化学反应、化合物的离解能、元素的电离能、激发能、原子（离子）的能级物理和化学性质有关以外，还跟所使用的光源特性密切相关。不同的激发光源对各类样品、各种元素具有不同的蒸发行为和激发能量，因此要根据不同的分析对象，选择具有相应特性的激发光源。
光谱仪的应用领域：
1、合金材料分析
目前在合金材料检测领域，它主婴用于军工、航天、钢铁、石化、电力、制药等领城金属材科中元素成份的现场测定，是伴随世界经济崛起的工业和军事制造领域不可少的快速成份鉴定工具。
2、重金属检测
除了传统的合金材料检测、贵金属，RoHs台现筛查、矿石分析，手持式XRF仪器同样在地质勒探和环填评估中发担看重都的作用，通过分析士壤中的重金属元素，可以知道整个区域的矿产分布和污染分布。
3、其他领域
XRF技术还可以用于一些新的领城，比如风电和汽车领城，通过对油品中全属元素金盘进行检测，可以间接反映轴承的磨损情况。还有许多新的XRF应用领减正在破开发出来，使得XRF技术在容个行业领城得到了广泛的应用，比如工厂的生产制近环节的焊接质量控制，也会用到XRF会监分析仪。
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